美军标关于光学表面疵病的说明

一.定义：

表面缺陷标准：依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20（或40-20）前者限制划痕大小，后者限制麻点大小。

道子、亮路都统称为划痕。

斑点、坑点、点子 都称为麻点。

规定长与宽的比大于4：1的为划痕；长与宽的比小于4：1的为麻点。

当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时，等效直径的计算以区域进行：表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准（如有效孔径的区域），表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。

§美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。

划痕：

以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。（注意：美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度，只能以实际观察样版为标准。）

这里的划痕级数就是通常的划痕号数，标准样版有10#、20#、40#、60#、80#  5个级。

§SC-QA027表面质量标准共有7条划痕判定标准，前5条是美军标的规定，后两条是公司内控标准。以下逐条讲解：

1.当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时，元件不合格。

例如：元件的表面质量要求为60—40，则代表元件的划痕必须≤60#，如果元件有＞60#的划痕，则元件不合格。 

2.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数，但元件存在最大划痕时，所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。

例如：有一长30mm宽10mm的元件，元件的表面质量要求为60—40，有2条60#长为3 mm划痕。

     它的等效直径为20mm

     1/4D为1/4×20=5mm

     最大划痕的长度和为：

      3mm+3mm=6mm

     6mm>5mm元件最大划痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合格。

3.当元件存在最大划痕，而最大划痕的长度之和未超过1/4D，要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和，不得超过最大划痕级数的一半。

例：有一长30mm宽10mm的元件，元件的表面质量要求为60—40，元件上有2条2mm的60#划痕，3条4mm的40#划痕。

     它的等效直径为20mm

       1/4D为1/4×20=5mm

      最大划痕的长度和为：

        2mm+2mm=4mm

       4mm<5mm。符合2条。

但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为：

1．60#划痕长度为（2+2）；40#划痕长度为（4+4+4+4）

2．60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60×（2+2）/20；

   40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40×（4+4+4+4）/20

3．所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为：

   [60×（2+2）/20]+[40×（4+4+4+4）/20=36

   元件最大划痕级数为60；60的一半为60/2=30）36>30；因此，元件不合格。

4.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数，且元件不存在最大划痕时，所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和，不得超过最大划痕级数。

例①：元件为Æ10，表面质量指标60—40，有2条50#划痕2mm，1条40#划痕3mm，另2条40#划痕2mm，2条20#划痕2mm,10#划痕长度合计10 mm。

所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为：

[50×（2+2）/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66

元件最大划痕为60#    66>60；因此，元件不合格。

5.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时，元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个Æ6.35mm面积的区域，不允许有4条或4条以上的大等于10#划痕。

例：表面质量指标为20-10，Æ20mm，

在如图（1）所示的区或有2条长1mm

和2条长0.5mm的10#划痕。

它符合5.1.1;5.1.4 （无需考虑5.1.2;5.1.3）

但它不符合5.1.5条。元件不合格。

6.对于圆形元件不允许有20#级数以上与直径相等的划痕。对于方形元件不允许有20#级数以上贯穿元件的划痕。

麻点：

依据美国军用标准MIL-PRF-13830B麻点的级数取允许缺陷的实际直径，规定以1/100mm作为计量单位。如果麻点形状不规则。则应取最大长度和最大宽度的平均值作为直径。

（注意：美军标的麻点与划痕不同，麻点是可计量的也即麻点的大小是确定的，50#麻点也即直径D=0.5mm的麻点）

1.当元件存在超过表面质量要求的麻点级数时，元件不合格。

例：元件为Æ20mm，质量指标要求为60—40，元件有1个直径0.5mm的麻点       50>40元件不合格。

2.每20mm直径上只允许有1个最大麻点。

例：元件为Æ20mm，质量指标要求为60—40，元件有2个直径0.4mm的麻点元件不合格

3.每20mm直径上所有麻点直径的总和不得超过最大麻点的2倍

例： 40mm×40mm的元件，质量指标要求为60-40，其中一个Æ20mm的区域有40#点子一个，20#点子一个，10#点子一个，同时在另一个Æ20mm区域中，20#点子2个，10#点子4个，5#点子1个。

§4.当麻点质量要求为10或更优等级时，任何两个麻点的间距必须大于1mm

例:元件40mm×40mm的元件，

质量指标要求为20-10,

有两个5#的点子，点子

之间的距离为0.8mm.

0.8mm<1mm元件不合格

§5.小于2.5um的麻点略去不计。

§6. 当出现如图所示密集麻点时以麻点聚集的外围圈径为麻点大小

§气泡和包络：包络当作气泡考虑。

依据美国军用标准MIL-PRF-13830B气泡的级数与麻点一样，单位也相同。不规则气泡直也是取最大宽度和长度的平均值。

气泡的允许值与麻点相同。但气泡和包络必须与麻点区分开来，单独评价。