红外增透保护薄膜的研究及应用

针对机载红外搜索跟踪系统和弹载红外精确制导系统对红外增透保护薄膜技术的迫切需求，基于使役环境和薄膜光学要求进行膜系优化设计，采用过滤阴极真空电弧、磁控溅射等技术制备非晶金刚石、非晶碳化锗、磷化物、氧化物等薄膜材料，利用多种表征方法分析薄膜的键合结构、光学和力学性能，确定结构和性能的精细调控方法，强化膜系与基底结合，研究大尺寸平面/半球面膜系的均匀沉积方法，最终获得满足服役要求的红外窗口/整流罩增透保护膜。

本工作揭示了红外增透保护膜的气动热/力失效机制，提出抗气动热/力失效多光谱红外增透保护膜的概念和利用反溅辅助实时强化红外增透保护膜的方法，建立大口径红外窗口/整流罩增透保护膜系及其制备方法的成套技术，成功应用于某机载和弹载光电部件，在解放军某厂实现产业化，获国家技术发明奖二等奖。本报告将综述哈尔滨工业大学的相关研究成果，并展望红外增透保护薄膜技术的未来发展趋势。